WS650系列匀胶机/匀胶旋涂仪
匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
WS650系列匀胶机 自1985 年起，我们向遍布全球的生物化工和半导体材料科研领域的实验室提供表面涂敷工艺的解决方案，目前，全世界有超过12000套系统正在安全运行。
适用旋涂材料的尺寸范围
型号 | 最小尺寸 | 最大尺寸 |
WS-650-23B | 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm | 6英寸（150mm）直径圆片 或5x5英寸（125mm）边长方片 |
WS-650-8B | 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm | 8英寸（200mm）直径圆片 或7x7英寸（175mm）边长方片 |
WS-650-15B | 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm | 12英寸（300mm）直径圆片 或9x9英寸（225mm）边长方片 |
高性能马达驱动
▪ 正向旋转：旋转速度范围1~12000RPM（可选反向旋转）；
▪ 直流驱动马达（超过10年的使用历史）；
▪ 超长使用寿命，自2007年至今性能良好 24小时x7天的连续不间断运行测试；
▪ 伺服电极分辨率：可达4000p/rev；
▪ 速度精度：1RPM；
▪ 可重复精度：1RPM；
▪ 获得NIST认证；
SPIN3000分析软件
▪ 批量存储，更容易查找曾经用过的工艺数据；
通过软件可将实验数据通过标准的USB通讯接口批量输入输出；
▪ 旋涂模拟，节约无谓的实验材料消耗；
可预录入设定的数据（转速、时长和加速度）进行模拟，获取最佳的实验设定值和曲线（工艺步骤）后再进行实验
▪ 实时记忆，这样的重复性才可信；
类似于记录飞机飞行参数的“黑匣子”，可大大提高实验的可重复性。
多种选配项可供选择
滴胶分配方案：
▪ 自动滴胶UD-3
▪ EBR晶圆去边UD-3b
▪ 集成式泵浦吸附式滴胶（适用于滴胶剂量大）
▪ 单头手动分配
▪ 多头手动分配
托盘方案：
▪ 非真空托盘
▪ 常用真空托盘
▪ 碎片托盘
▪ 卡式托盘
▪ 高孔隙蜂窝托盘
▪ 嵌入式托盘
▪ 可定制
