AS-One系列多功能退火炉

用于快速热退火和CVD工艺开发的快速热处理炉

可处理4英寸(100毫米)和6英寸(150毫米)的基材

AS-One系统提供两种尺寸的反应器，可处理直径达100毫米(4英寸)或150毫米(6英寸)的基材。这台机器是专门为满足研究实验室和小规模生产的要求而开发的。高可靠性保证了低拥有成本。落地式配置和较小的占地面积使其易于在洁净室中安装和维护。

AS-One系统有一个不锈钢冷壁处理室，具有更好的工艺再现性和更高的冷却速率。处理室的特殊设计提供了用于快速泵送和净化的小体积以及低消耗的处理气体。高温计和热电偶温度测量是标准特征。快速数字PID控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。处理室的蛤壳式设计使得能够完全接近台板，并且容易接近以装载和卸载衬底，以及实际清洁处理室。

产品特点：

AS-One 100的高温版本允许执行高达1450℃的退火处理。AS-One 150的退火处理温度高达1300℃。

温度范围：室温至1450°C(取决于型号)
斜坡速率高达200°C/s(取决于型号)
使用特殊设备时，冷却速度高达100°C/s
质量流量控制器的气体混合能力
真空范围：大气压至10-6托
使用Windows兼容软件实现全面的PC控制

应用领域：

快速热退火
注入退火
欧姆接触退火(III-V族和SiC)
快速热氧化(RTO)
快速热氮化(RTN)
硒化(CIGS太阳能电池)
石墨烯和六方氮化硼的化学气相沉积
聚合物的热退火
等等......

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