设备型号：EDC-650Hzb-23NPPB；
基底材料：直径50mm、75mm、100mm的玻璃；
化学试剂：一路正胶显影液；
辅助条件：DI rinse，N2 dry，DI bowl wash，N2 purge，DI (BSR)；
应用工艺：主要为显影；

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