设备型号：EDC-650Hz-8NPPB湿法刻蚀显影机；
基底材料：4英寸和6英寸基片（公差：+/-0.1mm，厚度：0.1-1.0mm）；
化学试剂：1路显影（NaOH），预留1路；
辅助条件：DI rinse，N2 dry，DI bowl wash，N2 purge，DI (BSR)；
应用工艺：主要为显影；

1）独家VoD顶盖阀门控制技术；

2）显影腐蚀液独立的试剂供给管路；

3）处理腔内差压精准控制；

4）满足2英寸~8英寸的防腐托盘；

5）试剂注射角度可调节；

6）独特设计的“腔洗”构造，保证“干进干出”。