MC服务｜乌镇实验室的湿法刻蚀显影机顺利验收！
2023-08-30
位于世界互联网大会永久举办地—桐乡，是由桐乡市人民政府举办，清华大学材料学院、浙江清华长三角研究院参与共建的省级新型研发机构。实验室围绕前沿新材料方向，如：电子信息功能材料、低碳能源材料、超高性能结构材料、生物医用材料等。
用
户
工
艺
设备型号：EDC-650Hz-8NPPB；
基底材料：直径4 inches 和6 inches硅片；
化学试剂：HNO3 <50%，H3PO4 <50%，CH3COOH <50%，HCl <50%，1路备用；
辅助条件：DI rinse，N2 dry，DI bowl wash，N2 purge，DI (BSR)；
应用工艺：主要为显影和腐蚀；
01
设备安装调试
EDC-650Hz-8NPPB
02
现场用户培训