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1、主机系统：

1.1 紧凑的台式设备、可调节的RF 功率、符合CE 安全标准

1.2 清洗舱：长6.5 (165mm)英寸，直径6 (152mm)英寸；

1.3 常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等

1.4 1/8 英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力

1.5 1/8 英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换

1.6 射频频率：13.56MHz

*1.7 功率为低、中、高档可调，射频线圈，产生的等离子功率对应表：

低档功率范围：电压716V DC 电流10 mA DC工作功率 7.16W

中档功率范围：电压720V DC电流15 mA DC工作功率10.15W

高档功率范围：电压740V DC电流40 mA DC工作功率29.6W

1.8 档位功率设置：输入功率200W

2、真空系统：

2.1 支持各类普通气体的等离子体清洗处理（注：氢氧等活性气体使用时，需控制在一定的混合比例以内）

2.2 峰值抽速：(60 Hz)5.1 m3/h

2.3 最终总压强(气镇关闭):7.5毫托

  最终总压强(气镇开放):150毫托

2.4 电机功率(50/60 Hz):373 W

2.5 附带软管、软管箍、进气道适配器，定心环和摆动钳等连接套件

2、真空系统：

2.1 支持各类活性气体的等离子体清洗处理

2.2 峰值抽速：(60 Hz) 60 L/m，3.6 m3/h，2.1 cfm

2.3 极限真空：2.5 × 10-1 torr (3.3 × 10-1 mbar, 33 Pa)

2.4 电机功率(50/60 Hz):120 W

2.5 排气口：1/4 英寸内螺纹 NPT，气镇接口：1/8 英寸内螺纹 NPT

2.6 电机过热保护自动

2.7 附带软管、软管箍、进气道适配器，定心环和摆动钳等连接套件

3、腔压显示：

*3.1 高精度真空数据实时采集，实时显示处理腔体内的真空值，有助于提高样品处理的可重复性

3.2 真空数值显示单元：12种不同计量单位供切换，满足不同习惯的需要

3.3 测量范围：10-760000microns

3.4 橡胶外套，有效保护监视单元，起到减震防摔作用

4、气路控制：

4.1 可支持两路气体流量的精准控制，腔内压力的实时监控

4.2 最大气体流量：49mL/min(大气空气0 psig)

4.3 控制精度：满量程±2%

*4.4 热电偶真空计和数显表(量程范围1 - 1999毫托压力范围) ，实时显示处理腔体内的真空值，有助于提高样品处理的可重复性