纳米压印机

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桌面式纳米压印机

CNI v3.0


桌面纳米压印工具,轻松复制微米和纳米级结构
可用的腔室最多可支撑100mm或200mm晶圆



CNI v3.0是一种非常灵活的纳米压印机。它可提供加热型纳米压印、UV紫外纳米压印以及真空纳米压印。模块化系统可根据特定需求轻松配置,体积小,容易存放,最大可处理Ø100毫米(4英寸)所有形状和格式的印章和基板。该系统是手动装卸印章和基板,但所有处理器都是全自动的,专用软件用户可以完全控制压印过程。


CNI v3.0 支持许多不同的技术,例如:

• 热纳米压印

• UV纳米压印

• 热压印

• µ-接触印刷

• 聚合物粘连


使用示例包括:

• 纳米结构的烙印

• 微观结构的烙印

• 在硅上刻印具有纳米间距的光栅

• 印在易碎的基材上 (例如III-V材料, InP)

• 印章制作

• 高纵横比结构的热压印

• 聚合物片材的热压印

• 热聚合物粘合


产品特点:

   体积小巧,桌面型;

   轻微复制微米和纳米级结构;

   热压印温度高达250°C;

   UV 纳米压印,365nm处曝光;

   真空纳米压印(腔室可抽真空至1mbar);

   压印压力0.3bar ~ 11 bar;

   温度分布均匀、读数精准;

   印模和基材尺寸: 直径最大为210mm(8英寸);

   笔记本电脑全自动控制,工艺配方编辑简单,完全灵活控制,自动记录数据;

   即插即用;

   使用简单直观;

   手动装卸印模和基材;

   提供安装和操作教程视频;



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