射频/微波等离子清洗机
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆、改性、光刻胶灰化等目的。