欧洲原装进口EMS高精密度热板带集成控制器,可以达到高精度的温度控制,用于实验室或者批量生产前期的预处理,根据不同的型号,处理温度可以从室温达到最高200℃,可选配250℃,温度均匀度设定界面的±1%。
产品功能
专用于科研实验室材料(硅片,玻璃片,晶圆片,薄膜材料)的加热和烘干,半导体器件制备过程中的光刻胶烘干工艺。
工作原理
利用电的热效应供热,以电流通过导体所产生热能量,通过电热原件将电能转化为热能传递到加热材料上,实现加热的目的。
产品特点
•持续加热, 加热均匀,升温快;
• 采用微处理芯片精确控制温度,持续加热;
• 特殊防腐材料,耐腐蚀,使用寿命长;
技术参数

