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Tergeo等离子清洗机
- 产品详情
1、控制系统
1.1 操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式；
1.2 程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤；
2、反应腔体
2.1 腔体材质：圆柱形石英玻璃舱；
2.2 腔体尺寸：内径：110毫米，深度：280毫米，壁厚：5毫米；
2.3 前观测窗：前方开口，5毫米厚石英玻璃可视窗口，可观测内腔等离子状态，并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置，有效保护操作的安全性；
3、射频电源
3.1 射频频率：13.56MHz；
3.2 射频功率：0~75W，从0瓦到150瓦之间以1瓦间距连续可调，自动阻抗匹配；
3.3 射频输出可以工作在脉冲方式，脉冲比可以从1/255调到255/255（连续输出）；
4、等离子源
4.1 等离子强度探测器实时测量等离子源强度；
4.2 外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染；
5、气体控制
5.1 气路控制：二路MFC，质量流量计可以在0~100sccm之间精确控制气体流量；
5.2 一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体；
5.3 自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响；
5.4 高性能气压计可以测量1e-4 Torr到大气压之间的气压；
5.5 气体接口：6mm；
6、真空系统
6.1 抽气速率：3.0/3.6 m3/hr；
6.2 极限压强：<=200 mTorr；
6.3 电机功率：50/60 Hz/120 W；
6.4 附带软管、软管箍、定心环和等连接套件；
6.5 无油干泵，8000小时0维护费用，0油雾污染，可支持百级超净间使用。
7、设备尺寸
7.1 实物尺寸：宽度450mm × 高度250mm × 深度430mm；
7.2 实物净重：19千克；