***
EDC-650Hz-8NPPB湿法台
  • 产品详情

1. 系统概述

1.1智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全

1.2保护气体, CDA(清洁干燥气体)/氮气(N2),气压60~70PSI

1.3通信接口,蓝牙连接


2. 基片及处理方式

2.1 基片尺寸

2.1.1   满足需要的2英寸,3英寸,4英寸圆片, 10mm的碎片

2.2. 基片处理方式,手动上下载


3. 控制系统

*3.1 用户界面,650高精度数显屏/基于Windows的SPIN3000操作软件

3.2 最大可存储20个程序段

3.3 最大51 骤工艺步骤

3.4 时间设定范围,0.1S~99Min59.9S(最小增量0.1 S)

3.5. 最大旋转速度,3 000 rpm   ±0.5 rpm (带安全罩)

3.6.旋转加速度,1 – 13000 rpm/s  


4.试剂分配系统

4.1 化学试剂分配

4.1.1   A 标准腔洗 Bowl Wash   1路纯水和1路氮气;

4.1.2   B 背部清洗 Back Riser 1路纯水;

4.1.3   C 样片冲洗甩干 1路纯水和1路氮气;

4.1.4   D 自定义化学试剂 可同时接入2路自定义的化学试剂(显影液/剥离液/其他清洗液);

4.2试剂供给方式

*4.2.1   A 系统所需纯水和氮气以及压缩气体(可用氮气替代)由实验室自行供应;

4.2.2   B 自定义化学试剂由双层压力容器/气动泵浦BP-1供给;

4.3 注射装置

4.3.1 试剂流速:0.01~0.20 ml/min;

4.3.2 气体流速:0.05~0.80l/min;

4.3.3 喷射角度:0~104°;

首页
客服
购物车
加入购物车
立即购买