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WS-650-15匀胶机
  • 产品详情

1.系统概述

1.1智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全;

1.2 防腐装置;

1.3 *设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护;

1.4通信接口,蓝牙连接

2.处理腔体

2.1处理腔体内径不小于14.6英寸 (371毫米);

2.2 * Wafer芯片尺寸至少满足10-300mm直径的材料,方片225x225mm,无需更换片托;

2.3腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质;

3.旋转马达

3.1转动速度至少满足0-12,000rpm,

3.2旋涂加速度不小于12,000rpm/sec;

3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%;

4.控制系统

4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ,精度不超过0.1s;

4.2配有高精度PLC可编程的控制器,设置点精度小于0.006%;

4.3可存储不少于20个程序段,每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态;

4.4 *分辨率要小于0.5RPM,重复性误差要小于±0.5RPM,具有国际标准认证,并且无需再校准;

4.5 *带回吸功能的自动滴胶装置(滴胶控制精度1ml±0.1 无滴漏);

5.配套泵浦

5.1 配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;

5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节,抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ;

6.系统附件

6.1 *免费赠送基于Windows的操作软件;

6.2原装进口水平测试仪;  

6.3两袋密封圈;  

6.4 *配有两套可更换的废液接收单元;


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